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    專利號:200820028195
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    液晶板實現掩膜版載體的光刻裝置


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    專利號: 200820028195
    申請日: 2008年1月25日
    公開/公告日:
    授權公告日: 2008年11月26日
    申請人/專利權人: 西安理工大學
    國家/省市: 西安(87)
    郵編: 710048
    發明/設計人: 王敏
    代理人: 羅笛
    專利代理機構: (61214)
    專利代理機構地址: ()
    專利類型: 發明
    公開號: 000000000
    公告日: 2008年11月26日
    授權日: 2008年11月26日
    公告號: 201156160
    優先權:
    審批歷史:
    附圖數: 0
    頁數: 0
    權利要求項數: 1
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