該規范適用于平面直角坐標系的影像測量儀。引用了幾何量測量設備校準中的不確定度評定指南和影像測量儀的驗收監測和復檢監測。

其中涉及到較為重要的參數需要進行熟知。

1. 影像測量儀在平面上的尺寸測量誤差(Exy):  該測量誤差代表在影像測量平面上任意方向擺放產品或樣件，測量二維尺寸的示值誤差。

2. 影像測量儀在Z軸上的尺寸測量誤差( Ez): 該測量誤差代表在垂直于影像測量平面方向，單軸方向測量的示值誤差。

3. 影像測量儀的測量頭的尺寸測量誤差(Ev) :在平臺不做移動，在影像視場范圍內測量平面任意尺寸的示值誤差。

4. 影像測量儀測量各截面測量結果的一致性(Ec) :影像測量儀在光軸的不同截面上測量時，各截面坐標原點投影與XY平面的一致性，可以理解為影像測量儀沿Z方向上下移動時，Z軸與XY水平面之間的垂直程度，也可以反映測量頭在不同高度用影像測量特性的一致性。

5. 影像測量儀二維探測誤差(P2D) :用影像測量儀測量標準圓的半徑變化幅度。

6. 影像測量儀測頭的探測誤差(PV) :用影像測量儀在視場范圍內測量標準圓的半徑變化幅度。

7.影像測量儀的變倍探測誤差(Pz) :用影像測量儀在不同倍率下測量標準圓心坐標的示值變化幅度。