表面粗糙度測量功能

1. 高分辨力型Z1軸檢出器作為標(biāo)準(zhǔn)件提 供。Z1軸的高顯示分辨力為μm (測量范圍為8μm時)。 2.X軸內(nèi)置高精度玻璃光柵尺，直接讀取X 軸移動距離，在高精度精準(zhǔn)定位下，完 成間距參數(shù)的評價。

3.檢出器測力有4mN和可選。

輪廓測量功能

•Z1軸(檢出器)上配有高精度弧形光柵尺和 新型測臂。高精度弧形光柵尺能直接讀 取測針的弧形軌跡，以實現(xiàn)高精度和高 分辨力。與傳統(tǒng)型號相比，新測臂使Z1 軸測量范圍增大了10mm 同時減少了工 件的干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接 件，單此接觸就能完成測臂的裝卸，提高了易用性。