近幾年超大規(guī)模集成電路的生產有了快速發(fā)展，對超純水的水質也相應提出了更高的要求，超純水中所含雜質的允許含量越來越低，同時需要控制的雜質種類也越來越多。為了更好有效的去除各種雜質，需要各種處理手段的綜合運用。

　　超純水處理設備分為三部分：預處理，初級處理和拋光精制處理。

　　1.預處理系統(tǒng)通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成；

　　2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設備等組成；

　　3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。

　　超純水處理設備的工藝優(yōu)勢:

　　1.具有一定的靈活性和調節(jié)余地，以適應水量的變化，管理方便、維修簡單，合理地、充分地考慮操作自動化，減少操作勞動強度；

　　2.設備選型兼顧通用性和先進性，運行穩(wěn)定可靠、效率高、管理方便、維修維護工作量少、價格適中；設計美觀、布局合理，與周圍設施統(tǒng)一協(xié)調考慮；

　　3.盡量采取措施減小對周圍環(huán)境的影響，合理控制噪聲、氣味，妥善處理與處置固體廢棄物，避免二次污染；

　　4.在系統(tǒng)整體設計中引入模塊化概念，將主體處理設施分成幾個并列運行的處理單元，可根據生產的實際情況以及實際水量的大小靈活運行，節(jié)省運行費用；

　　5.設備結構緊湊，占地面積小，便于安裝和維修，節(jié)約用地。

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